निर्दिष्टीकरण | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (एयर बेयरिङ रेल) |
मोटर प्रकार | तीन-चरण फलामरहित मोटर | भ्वाइस कोइल मोटर+ |
संकल्प | पूर्वनिर्धारित 100nm डिजिटल मात्रा | 1vpp तल 5nm मा |
मोटर थ्रस्ट | निरन्तर 60N/चरम 210N | निरन्तर 60N/चरम 210N |
न्यूनतम चरण आकार [nm] | 200nm | 100nm |
यात्रा [मिमी] | 200×200 | 10 |
पुनरावृत्ति [um] | ±0.3 | |
स्थिति सटीकता [um] | ±1 | ± ०.५ |
समतलता [um] | 10um | ५ बजे |
सीधापन [उम] | 1um | 1um |
अधिकतम गति [मिमी/सेकेन्ड] | 500mm/s | 30mm/s |
लोड क्षमता [किग्रा] | 5kg (वायमेटिक स्थिर बल सन्तुलन वजन संग Z अक्ष) |